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定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能---复杂，江苏水环式真空泵厂家，如sih4与o2在泵口形成sio2，江苏水环式真空泵工厂，ticl4水解会形成hcl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，江苏水环式真空泵生产厂家，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也。所以需要及时的清洗，并在---的时候设置过滤设备。

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为了使设备能在较高的出口压力下工作，要求水环真空泵泵油在沸腾温度下得饱和蒸汽压应尽可能大。

　水环真空泵油的热稳定性，与---接触时不会因氧化改变油的性能、要好。凝固点和低温黏度要低。

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---的抗腐蚀性和抗乳化性：水环式真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，江苏水环式真空泵，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起润滑哟的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有---的抗腐蚀和抗乳化性。

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