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定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，安徽水环式真空泵厂家，其成分可能---复杂，如sih4与o2在泵口形成sio2，ticl4水解会形成hcl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也。所以需要及时的清洗，并在---的时候设置过滤设备。

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真空泵所吸的气体温度较高，用自来水做循环水，安徽水环式真空泵价格，或用冷凝器给气体降温.注意:真空泵必须安装过载保护器，安徽水环式真空泵，防止过载烧毁电机.连接管路不能变细70%.管路过细，排水不畅也会造成电机---超电流。

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　倘若我们在管道处安装止回阀，在关闭真空泵之前关闭这个止回阀的话，泵腔的空气就不会倒回到被抽容器了，停泵的瞬间，排气口压力大于进气口压力，安徽水环式真空泵多少钱，为了防止泵内的水被压回真空系统，所以在进气口加止回阀，也叫逆止阀或单向阀。

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