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扩散
气体由于浓度梯度而在另一种介质中的运动称为扩散。介质可以是另一种气体(这种情况下的扩散称之为互扩散)或者是可凝聚物质。
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有效稀释有害气体的浓度:
半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如sih4、ph3、ash3、b2h6等物质,山东水环式真空泵价格,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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水环真空泵是一种真空设备,它的性质,山东水环式真空泵厂,对扩散真空机组的抽气性能影响---大,在使用的过程中,如果使用不当,可能会出现返油的现象,关于返油问题介绍如下:
1、水环真空泵泵油的分子量要大。
2、为了降低设备的---压力,要求真空机组油在常温下得饱和蒸汽压要低。
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